NIKON 尼康 FX-68S 第6代玻璃基板

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NIKON 尼康 FX-68S 第6代玻璃基板

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对应第6代玻璃基板
高效和1.2 µm的高分辨率的
高精细中小型面板制造的FPD曝光设备

对应第6代玻璃基板 FX-68SH/68S

	FX-68SH	FX-68S
分辨率	1.2 μm (i-line)^※	1.5 μm (i-line)
投影倍率	1 : 1
重合精度	≦ ± 0.27 μm
尺寸	1,500 mm x 1,850 mm
节拍	42 s / plate 条件 : 1,500 mm x 1,850 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ / cm2

电话：0755-83317701 手机/微信：13246646513

QQ: 564600083 邮箱：564600083@qq.com

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