NIKON 尼康 FX-103S 玻璃基板

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NIKON 尼康 FX-103S 玻璃基板

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对应第10.5代玻璃基板的高精细大型面板制造的FPD曝光设备

对应第10.5代玻璃基板 FX-103SH/103S

	FX-103SH	FX-103S
分辨率（可切換）	2.2 μm (g + h + i-line)	3.0 μm (g + h + i-line)
投影倍率	1 : 1
重合精度	≦ ± 0.5 μm
尺寸	2,940 mm x 3,370 mm
节拍	60 s / plate 条件: 2,940 mm x 3,370 mm, 4 scans, g + h + i-line, 30 mJ / cm2

电话：0755-83317701 手机/微信：13246646513

QQ: 564600083 邮箱：564600083@qq.com

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