-
NIKON 尼康 FX-6AS 第6代玻璃基板
PDF: 1MB
适用于第6代玻璃基板
可实现高分辨率的最尖端高精细中小型面板制造的FPD曝光设备分辨率 1.0 μm (i-line)※ 投影倍率 1 : 1 重合精度 ≦ ± 0.23 μm 尺寸 1,500 mm x 1,850 mm 节拍 42 s / plate
条件 : 1,500 mm x 1,850 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ / cm2※使用相移掩模时
电话:0755-83317701 手机/微信:13246646513
QQ: 564600083 邮箱:564600083@qq.com
-
控件[tem_25_34]渲染出错,Source:未将对象引用设置到对象的实例。