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NIKON   尼康 NSR-2205iL1 线步进式光刻机

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  • NIKON  尼康     NSR-2205iL1     线步进式光刻机

     

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    应对功率半导体、通信用半导体、MEMS等各种器件,替换既有设备的理想选择。缩小投影倍率5倍 i线步进式光刻机

    i线步进式光刻机NSR-2205iL1

    分辨率 ≦ 350 nm※1
    NA 0.45
    曝光光源 i-line (365 nm wavelength)
    缩小倍率 1 : 5
    最大曝光范围 22 mm x 22 mm
    重合精度 SMO : ≦ 70 nm※1

    ※1 option选项

     

     

    电话:0755-83317701 手机/微信:13246646513

       QQ: 564600083      邮箱:564600083@qq.com

     

     

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