NIKON 尼康 NSR-2205iL1 线步进式光刻机
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应对功率半导体、通信用半导体、MEMS等各种器件,替换既有设备的理想选择。缩小投影倍率5倍 i线步进式光刻机

分辨率 |
≦ 350 nm※1 |
NA |
0.45 |
曝光光源 |
i-line (365 nm wavelength) |
缩小倍率 |
1 : 5 |
最大曝光范围 |
22 mm x 22 mm |
重合精度 |
SMO : ≦ 70 nm※1 |
※1 option选项
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