NIKON 尼康 NSR-SF155 i线步进式光刻机

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NIKON 尼康 NSR-SF155 i线步进式光刻机

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搭载天钩构造与高速运转的晶圆工作台的高重合精度和高产出i线步进式光刻机

i线步进式光刻机 NSR-SF155

分辨率	≦ 280 nm
NA	0.62
曝光光源	i-line (365 nm wavelength)
缩小倍率	1 : 4
最大曝光范围	26 mm x 33 mm
重合精度	SMO : ≦ 25 nm
产出	≧ 200 wafers / hour （300 mm wafer, 76 shots）, 也可用于 200 mm wafer

电话：0755-83317701 手机/微信：13246646513

QQ: 564600083 邮箱：564600083@qq.com

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