NIKON 尼康 NSR-S220D KrF扫描光刻机
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搭载Streamlign Platform系统的KrF扫描光刻机
| 分辨率 |
≦ 110 nm |
| NA |
0.82 |
| 曝光光源 |
KrF excimer laser (248 nm wavelength) |
| 缩小倍率 |
1 : 4 |
| 最大曝光范围 |
26 mm x 33 mm |
| 重合精度 |
MMO : ≦ 6 nm |
| 产出 |
≧ 230 wafers / hour (96 shots) |
电话：0755-83317701 手机/微信：13246646513
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