NIKON 尼康 NSR-S322F ArF扫描光刻机

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NIKON 尼康 NSR-S322F ArF扫描光刻机

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搭载Streamlign Platform系统，
高重合精度与生产效率的ArF扫描光刻机

ArF扫描光刻机 NSR-S322F

分辨率	≦ 65 nm
NA	0.92
曝光光源	ArF excimer laser (193 nm wavelength)
缩小倍率	1 : 4
最大曝光范围	26 mm x 33 mm
重合精度	MMO : ≦ 5 nm
产出	≧ 230 wafers / hour (96 shots) ≧ 250 wafers/hour (96 shots)^※1

※1 option选项

电话：0755-83317701 手机/微信：13246646513

QQ: 564600083 邮箱：564600083@qq.com

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